Работы
Реверс-инжиниринг
Реверс-инжиниринг установки электронно-лучевой литографии

Реверс-инжиниринг установки электронно-лучевой литографии

Объектом для реверс-инжиниринга стала установка ZBA-21 от именитого производителя CARL ZEISS. Модель 1990 года выпуска. Наши инженеры выполнили обратное проектирование всей механической части оборудования.

Электронно-лучевой литограф или электронный литограф – это установка для нанесения рисунка (экспонирования) сфокусированным электронным пучком на поверхность, покрытую электронно-чувствительным слоем (резистом) для получения фотошаблонов. При помощи данной установки можно получать элементы рисунка с размерами менее или равными 0,01 мкм. Области применения могут варьироваться от производства датчиков до процессоров и микропроцессоров.

Основные части литографа

Электронно- оптическая система, которая создает, фокусирует и управляет положением электронного луча.
Координатный стол с лазерным интерферометром. На нем размещают кремниевую пластину. Функция стола заключается в том, чтобы на нем максимально быстро и точно подставлять нужные участки для экспонирования электронным лучом.
Рабочая камера. К ней присоединено шлюзовое устройство, которое отвечает за загрузку и выгрузку пластин. Пластина перекладывается специальным механизмом на координационный стол, где производится ее обработка. После окончания работ она отправляется в кассету на выгрузку.

Особенности проекта

За 3 месяца мы разработали 3D-модель данной установки. Количество входящих номенклатур деталей – более 9 000. Исходя из специфики работы оборудования около 80% деталей выполнены в высокоточном исполнении.

Наши инженеры работали 5 бригадами по 2-3 человека. Они были полностью укомплектованы всем необходимым оборудованием: сканерами, химическими анализаторами, микроскопами, профилометрами, твердомерами.

Получить консультацию Оставить заявку на свой проект

Параллельно, своими силами заказчик разрабатывал электрическую составляющую оборудования. Данная установка оснащена большим количеством электрических компонентов, в том числе для системы управления. Полное обратное проектирование электрической части невозможно и требуется разработка практически «с нуля», т.к. сейчас уже нет такой компонентной базы. Компонентная база будет подобрана заново, максимально основываясь на отечественных решениях.

На сегодняшний день заказчик находится в стадии производства тех элементов, которые возможно изготовить на его производственных мощностях. Также идет поиск производителей и технологий на оставшиеся элементы.